安徽曦融兆波科技有限公司

安徽曦融兆波科技有限公司(简称：曦融兆波)成立于2022年，依托合肥综合性国家科学中心能源研究院的雄厚技术资源，汇聚了一支创新进取、团结协作的高效团队。公司秉持“创新引领发展，团队创造价值”的经营理念，致力于为客户提供优质产品、专业技术与真诚服务。公司合作客户涵盖聚变、半导体设备和加速器等多个领域，立志成为一站式射频装备解决方案的领军企业。公司采用高校、院、企联合研发模式，能够提供全面、定制化的一站式解决方案，专注于磁约束核聚变装置中离子回旋波加热系统的核心硬件设备研发，填补了国内加热系统供应商的市场空白。公司掌握高功率发射机及高功率传输匹配等核心技术，是实现商业可控核聚变加热技术突破的关键力量，其衍生产品——低功率射频电源和高精度高压电源——也在半导体与加速器领域的国产化替代中发挥着重要作用。

核心产品

01.聚变加热装备

公司研制的多款聚变加热装置配套射频源、发射机、高功率匹配器、高功率负载等产品已应用于国内多个聚变实验装置中。

图一 MFT-1500K发射机

图二 高功率匹配器

02.半导体射频源

安徽曦融兆波科技有限公司致力于提供高性能的半导体射频电源及自动匹配器，以满足日益增长的市场需求。我们的解决方案包括：

1、高性能射频电源：采用数字化设计，具备实时监测和动态调谐功能，确保在各种操作条件下保持最佳性能。

2、自动匹配器：能够实现射频电源与负载的自动阻抗匹配，确保能量高效传输和系统稳定运行。

3、阻抗模拟器：动态模拟等离子体负载状态，支持射频电源的测试和优化，提高系统的可靠性和性能。

公司产品适用于半导体制造过程中关键的等离子刻蚀、薄膜沉积和干法清洗等工艺环节，为国内外半导体制造设备厂商提供高质量的解决方案。

可调阻抗负载