河北普莱斯曼金刚石科技有限公司

河北普莱斯曼金刚石科技有限公司成立于2009年，位于河北省石家庄市，是由河北省激光研究所有限公司等投资成立的专业生产高质量CVD金刚石的科技创新型企业。在国家“863”计划支持下，从事化学气相沉积(CVD)金刚石的研究开发，迄今已有三十多年的历史，成功研制了具有自主知识产权的等离子体CVD金刚石设备，生产的金刚石膜具有高热导率、高机械强度、低介电损耗，低成本等特点。公司生产的CVD金刚石主要用作光学窗口、微波窗口、散热衬底、砂轮修整工具坯料、拉丝模坯料、高耐磨涂层以及高音用扩音器喇叭膜等，产品优异的性能和稳定的质量赢得了国内外客户的一致认可。公司先后被评为河北省科技型中小企业、创新型企业、工信部专精特新小巨人企业，荣获河北省科学技术奖，并取得的相关发明专利10余项。

公司全景

核心产品

1、作为承担单位承担国家重点研发计划重点专项“国家磁约束核聚变能发展研究专项”项目“大尺寸低损耗金刚石窗片研制及质量表征技术研究”。解决核聚变领域金刚石窗口研制“卡脖子”技术。

Φ127mm大尺寸低损耗光学级金刚石窗片

2、为某国际领先回旋管制造商以及国内多家聚变堆研制相关用户提供“兆瓦级金刚石窗片及焊接窗口组件”，摆脱了金刚石窗口产品依赖进口的局面，得到国内外用户认可。

兆瓦级金刚石微波窗口组件：厚度1.8mm，通径80-90mm，tanδ<5×10^-5

公司生产的直径80mm，厚度1.3mm极紫外（EUV）光刻用金刚石窗片的平坦度目前可以达到1.5λ（633nm），表面粗糙度小于1nm。

图4 （a）直径80mm，厚度1.3mm极紫外（EUV）光刻用金刚石窗片；（b）光学平坦度；（b）表面粗糙度

4、采用光学级金刚石研制的用于不同同步辐射光束线的金刚石窗口，包括红外光束线窗口（a）、红外光束线布鲁斯特窗口（b）以及高能X射线窗口（c）。

图5（a）同步辐射加速器红外光束线窗口；（b）同步辐射红外光束线布鲁斯特窗口（c）同步辐射高能X射线窗口。

（5）我公司开发的太赫兹微波窗口组件，窗片直径1.35mm，厚度80μm，同时满足漏率、强度及损耗等性能指标要求。

图6太赫兹微波窗口组件